晶圆划裂解决规划重要合用于晶圆裂片机加工后,,,,,用于检测Disco环上芯粒的漏划、离焦、未划开、双晶等较显著的划裂缺点,,,,,通过视觉缺点检测,,,,,检出有无蕴含以上缺点即可,,,,,即分辨出良品和不良品,,,,,削减人为,,,,,提升检测效能。。。。。。



自主知识产权高精度高速光学成像系统,,,,,确保优质的成像成效;;;;;;
自有知识产权的缺点检测主题算法+AI深度进建复判算法,,,,,处于业界当先水平。。。。。。

创新性选取工字型防震扫描机构+大理石防震平台,,,,,实现运行状态维吃旖稳。。。。。。

独创后盾自动报表分析系统,,,,,实现Mapping和报表输出。。。。。。

可视化数据备份和数据追忆,,,,,自动图像分类,,,,,方便用户查问和审核;;;;;;
设备靠得住,,,,,无故障工作功夫长。。。。。。
