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晶圆校准器

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晶圆校准器

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  •   晶圆校准器(Pre-Aligner)是一款专为半导体造作及检测设备设计的高精度预约位装置 , ,, ,,合用于 4-12英寸(100~300mm)晶圆 的中心校准及平边(Flat)/缺口(Notch)定位 , ,, ,,满足晶圆传送与搬运的高精度需要。。。。。。。    
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